topcon电池工艺流程

2024-09-22 04:00:40

导读： TOPCon太阳能电池的制作工艺流程有哪些？ TOPCon太阳能电池的制作工艺流程有哪些?TOPCon工艺流程合计有9步：制作背场、清洁晶圆、成长n-a-Si层、制作P型衬底、生......

TOPCon太阳能 电池 的制作 工艺 流程 有哪些？

TOPCon太阳能电池的制作工艺流程有哪些?TOPCon工艺流程合计有9步：制作背场、清洁晶圆、成长n-a-Si层、制作P型衬底、成长P型层、制作M面、制作topcon电池的反面、钝化、分别。

1. 制作背场：经常使用氢氧化钾(KOH)去除c-Si晶片切割环节中的锯挫伤，而后经常使用分散法在电池侧面构成一层三溴化硼(BBr)。

2. 清洁晶圆：经常使用湿化学法去除反面的三溴化硼，并经过施加硝酸和氢氟酸(HF/HNO)去除反面的杂质，最后经过湿化学浸渍发生超薄氧化层。

3. 成长n-a-Si层：经过等离子体增强化学气相堆积(PECVD)工艺成长磷掺杂的非晶硅(n-a-Si：H)层，而后在900ºC退火后将其转化为nPoly-Si层。